AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器是由两个惠斯通桥构成的被动装置。根据操作规范，还需具备发热器控制电路。根据操作规范，还需具备传感桥供电电路。这两种电路不在封装电路板上，因此必须在应用中提供。差分放大器是一个有用的传感桥接口。它可用于增加增益并将电压偏置引入传感器输出。
补偿温度范围
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
流量/压力范围
±30.0 sccm
±1000 sccm (1 SLPM)
±10.0 mbar [4.0 H20]
±200 sccm
电源电压
最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc
UNSPSC 代码
41111931
冲击
100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)
输出温漂
±5% 读数
零位
±1 mV dc
端口类型
直
信号调节
非放大式 (mV)
传感器电流
最大 0.6 mA
可重复性
±0.35% 读数
±1% 读数
UNSPSC 商品
41111931 流量传感器
调整点的输出电压
650 sccm 时，50.0 mV dc
在水中 2.0 时，20.0 mV dc
25 sccm 时，11.8 mV dc
100 sccm 时，30.0 mV dc
存储温度
-40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]
介质兼容性
仅干燥气体
氢气
重量
10.8 g
系列名称
AWM2000
功耗
典型值 30 mW，最大 50 mW
工作温度
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
整个温度范围内的零位
±0.20 mV dc
响应时间
典型值 1 ms，最大 3 ms
共模压力
25 psi